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靈敏度

測試儀表的輸出或響應對輸入測量的比值。

8．解析度

量測儀表可響應最小的變化量。

9．校正系統追溯性

量測儀器誤差，通常會隨時時間而增加，如果沒有透過校正加以修正或調整，就很難長期确保其準确性，造成生產、檢測出來的產品會有問題。然而除了校正，還須透過定期追溯才能确保由不同地區、不同工廠或不同生產線，甚至不同時間所製造的東西的一致性。

校正追溯乃指整個量測標準上，由上而下，依層級構成，其最頂端可能是自然界的現象。

追溯不單是單全的設備追溯，而是整體系統必須追溯才算完整。

10．再生性

以同一量測設備，不同量測人員，量測同一尺寸，其所統計計算之Cp值。

11．再現性

以同一量測設備，同一量測人員，于不同時間，量測同一尺寸，其所統計計算之Cp值。

12．量測不确定度

在量測系統中有許多在确定因素（例如：人員、設備、環境、方法……等）影響量測的結果，這些不确定因素的總合，稱之為『量測不确定度』。

13．點檢

對量測儀器或設備作數量、外觀、使用功能上的清點、檢查與保養等工作以确保該設備保有持續的查核或制程能力。